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高精度XY軸顯微鏡掃描平臺
大中空XY軸直線電機位移臺
甄耀言科技推出的單軸直線電機,其特點是單軸直線運動平臺采用有鐵芯直線電機,推力大載荷高;光柵反饋,提升平臺控制精度;密閉的平臺,增強使用安全性;應用于:電子加工,半導體加工等行業
小行程升降直線電機采用步進電機和交叉導軌,運動平滑;平臺上下移動的平面為水平配置;剛性好,精度高。
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